光學(xué)平臺，數(shù)量：2個(gè)，主要技術(shù)參數(shù)為：（1）無磁光學(xué)平臺面板尺寸：1500mm*2400mm*305mm，帶M6的標(biāo)準(zhǔn)固定孔；（2）四個(gè)無磁氣浮支撐腿：高495mm（19.5英寸）；（3）臺面板內(nèi)部真蜂窩狀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，沿蜂窩芯高度方向垂直黏合三芯接面；（4）自平衡時(shí)間：優(yōu)于1.5S；5.共振頻率：垂直1Hz，水平1.5Hz；（6）重復(fù)水平精度±0.25mm；（7）安裝孔密封；（8）側(cè)板：高阻尼側(cè)板；（9）金屬材料：無磁316不銹鋼；（10）低噪聲220V空壓機(jī)：長*寬*高≤35cm*28cm*34cm；重量≤18kg；流速~0.1m3/h；最大空氣壓力：8個(gè)大氣壓；儲罐容量~3.5L；工作聲音（距離30cm處）≤30db。
